表面微粒检测仪的日常清洁与检查
更新时间：2025-08-21 点击次数：94次
表面微粒检测仪是用于检测固体或液体表面微粒污染的专业设备，广泛应用于半导体、制药、医疗器械及材料科学领域。其核心技术包括光学成像、激光散射和AI算法分析，可实现微米至纳米级微粒的精准识别与分类。
技术与原理：
光学检测技术：
激光散射成像：采用405nm激光光源，结合共聚焦显微技术消除反射干扰。
光障碍法：通过微粒遮挡光束产生的信号变化计算粒径（2-100μm），适用于透明液体（如注射液）。
图像分析法：
高分辨率CMOS/CCD传感器搭配显微镜头，通过U-Net等AI模型自动分割微粒，分析形状、粒径及分布。
支持明场/暗场照明，增强透明微粒的检测对比度。
多模态融合：
结合电子束检测（EBI）与激光散射成像（LSI），提升复杂表面（如TSV结构）的检测能力。
日常清洁与检查：
光学系统维护：
每日使用前用无水乙醇擦拭传感器窗口及光路组件，避免灰尘或样品残留影响检测精度。
检查激光光源强度，若发现衰减需校准或更换（建议每季度检测光路稳定性）。
流体系统清洁：
每次检测后需用纯化水冲洗管路5次以上，黏稠样品需增加热水或有机溶剂清洗频率。
每周更换0.45μm预过滤器，防止颗粒堵塞。
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