洁净室的控制参数有哪些？

在洁净室内，按其用途的不同应控制下列参数：

1、空气中的洁净粒子浓度；

2、气流的风速和单向性（对单向气流而言）；

3、不同洁净度级别的洁净室之间和洁净室与普通房间之间的压差；

4、zui终过滤器的整体性；

5、洁净室经污染后空气洁净度的自净时间；

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性；

8、洁净室表面的洁净度；

9、静电荷和离子发散；

10、空气中和表面的微生物污染；

11、空气中和工艺的分子污染。