因老式的二氧化碳喷雾器输出常常是一个锯齿形, 不稳定, 一致性也不好, 如果用一个分光计去分析下游的纯净度时, 将会发现有许多二氧化碳的残留，现使用zui多的是DI 水喷雾器和超纯水喷雾器。

CRF-3是的一款DI水喷雾器，该仪器利用超声雾化的原理,将DI水雾化成1-10 微米左右的大量水滴, 建立一个气溶胶, 于是在4-6 磅的背压下由风扇吹出, 可以显示出洁净室气流组织状态, 发现湍流。

CRF-3可以满足多方面的应用，如100级及以上级别的净化车间，这个小的，易用的工具可以仅仅使用DI水就可以显示出在控制区域的气流组织和湍流现象，喷雾输出大约在60 华氏度，单个风扇吹出4CFM的雾量，持续约30 分钟，开关控制喷雾，100-10000 级净化车间用16 兆欧DI 水，1-10 级净化车间需要64 兆欧的DI水。